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微量水分析仪的产品特点

更新时间:2015-07-01 点击次数:1843
    目前多晶硅生产技术在国内主要是以改良西门子法—闭环式三氯氢硅氢还原法是用氯气和氢气合成氯化氢为主, 氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅, 然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯, 提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD 反应生产高纯多晶硅。然而,游离氧和水分对合成反应极为有害,因为Si-O键比Si-Cl 键更为稳定, 反应产物极易发生氧化和水解,使SiHCl3的产率降低,水解生成的硅胶会堵塞管道,使操作困难,水解产生的盐酸对设备有强烈的腐蚀作用。游离氧或水分还能在硅表面逐渐形成致密的氧化膜,影响正常反应的进行,同时多晶硅生产过程存在大量Cl2、HCl 等腐蚀性气体, 气体中含有的水分超标时就会形成盐酸等腐蚀性物质。为了防止水含量超标腐蚀生产设备,确保设备长期可靠地运行, 必须对某些过程气中水含量进行实时监测。多晶硅生产企业要针对防腐的需要, 实时检测氢中微量水、氯中微量水、氯化氢总管中微量水等,一旦检测到水含量超标, 微量水分析仪将发出报警信号,提醒操作人员检查生产运行情况,为此,必须对生产过程中的微量氧和微量水实时监控。
    微量水分析仪具有*的可靠性和测量重复性。新一代传感器在电极和P2O5涂层工艺方面的进展,使之在强腐蚀性气体中的应用成为可能。微量水分析仪产品具有三十年的历史,积累了丰富的生产和现场应用经验。本产品在世界各地占有较大的*。现以成功地应用在空分、炼油、石油化工等领域,使用效果受到好评。
    微量水分析仪在下列气体中得到广泛应用,氮、氢、氧、臭氧、氦、氩、氙、乙炔、二氧化碳、氯、甲烷、氟、氟化氢、二氧化硫、硫化氢、天然气和许多其它气体。
    仪器特点:
    1.安装方便:仪器可以放置在桌面上,可以便携,可以安装在墙壁上, 也可以安装在19#仪表机架上。
    2.测量范围宽:从几个PPm到5000PPm均可测量。有液晶显示PPm数值, 也可输出4-20mA模拟量。
    3.适应气体广:除了与磷酸起反应的物质、氨气中的水份外,其他气体 中的微量水均可测量。zui典型的应用范围是:惰性气体、碳氢化合物、腐蚀性气体,如氯、氯化氢、二氧化硫等。
    4.操作简单、维护量非常小:仪器不用定期标定,直接测量即可。
    5.传感器可以再生,因此仪器寿命长。当电极被污染之后,不用再买电 极,操作人员可以按规定要求对电极进行再生,方法非常简便,效果与原电极*一样。而且,这种再生功能可用多次,对电极无损害。一组电极可用8年以上。
    6.TMA-202型微量水分仪可以在防爆区工作。探头与放大器之间距离可 达300米,若配置电缆,zui大距离可达1000米。

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