冷镜露点仪的测量精度可达±0.1℃露点温度，远超其他类型露点仪(如电容式、电阻式)。这种精度源于直接观测相变过程，避免了间接推算的误差，尤其适用于实验室标定、半导体制造等对湿度敏感的领域；其量程可覆盖-100℃至+20℃露点温度(取决于制冷方式)，且通过恒温控制和光学检测的结合，可实现“零”漂移和高重复性测量。例如，在钢铁冶炼中，可准确监测惰性气体的干燥度，防止氧化反应。
冷镜露点仪对气体成分依赖性低，即使面对腐蚀性气体或复杂混合气体，仅需镜面材料耐腐蚀即可正常工作。此外，其光学检测方式不受电磁干扰影响，适用于电力设备监测等强磁场环境；采用动态制冷技术，响应时间缩短至秒级(如光电式型号)，同时因无耗材损耗，长期稳定性优于电解式或陶瓷滤波器类仪器。
冷镜露点仪的测定步骤：
1.准备工作：
-仪器检查：检查外观是否完好，各连接部位是否牢固，电源线、信号线等是否正常。同时，确保仪器的冷却系统、光学检测系统等部件工作正常。
-样气准备：采集具有代表性的样气，确保样气清洁、干燥，避免混入杂质或液态水。若样气中含有杂质或污染物，可能会影响测量结果的准确性，甚至损坏仪器。
-环境条件控制：将仪器放置在温度稳定、湿度适宜的环境中，避免外界环境因素对测量结果产生干扰。一般要求环境温度变化较小，且无强烈的气流、震动等影响。
2.测量操作：
-开启仪器：接通电源，打开电源开关，按照仪器的操作手册进行初始化设置和预热。预热时间根据仪器型号和说明书要求而定，一般为几分钟到十几分钟不等。
-调节冷却温度：通过仪器的控制面板或软件界面，逐步降低冷镜的温度。降温速度不宜过快，以免错过露点温度的准确判断。同时，密切观察冷镜表面的状态变化。
-观察露点形成：当冷镜温度降低到接近样气的露点温度时，样气中的水蒸气会在冷镜表面开始凝结，形成微小的露珠或冰晶。此时，注意观察冷镜表面的光学变化，如光泽度的改变、反射光的变化等。
-确定露点温度：利用仪器自带的光学检测系统(如光电传感器)或人工观察的方式，准确判断露点形成的瞬间。当检测到露点出现时，仪器会自动记录或显示当前的冷镜温度，该温度即为样气的露点温度。
3.测量结束：
-关闭仪器：测量完成后，先关闭样气进气阀门，停止样气的通入。然后，按照仪器的操作规程，关闭仪器的电源开关，拔掉电源线。
-数据处理与记录：将仪器显示的露点温度数据记录下来，并根据需要进行单位换算、数据分析等处理。同时，对测量过程中的相关参数(如环境温度、样气流量等)也应一并记录，以便后续查阅和分析。
